机译:基于碳化硅的高温微系统的WSi ¢ WSiN ¢ Pt金属化方案
机译:具有凹痕的碳化硅基微系统的热物理和光学性质
机译:基于光学高温法和激光干涉法的基于碳化硅的极端环境混合设计温度传感器
机译:基于金属硅微结构的温度传感器用于微系统技术
机译:用于氮化物在硅上的低温光电集成的半金属混合衬底系统的外延生长。
机译:基于碳化硅的高温微系统的WSi–WSiN–Pt金属化方案
机译:基于碳化硅的高温微系统的Wsi-WsiN-pt金属化方案
机译:形成de Wsi2 par Reaction Directe metal-silicium。应用en micro-Electronique(通过直接金属硅反应形成Wsi2。应用于微电子)